1纳米芯片通过了电路测试,这标志着国产超精度光刻机与纳米芯片设计方案的成功!
在通过了这两个环节之后,最后就是附带的军用芯片工艺处理问题,航天03院也已经大致完成了搭配纳米芯片的军用工艺生产线升
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